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產(chǎn)品資料

光線(xiàn)溫度傳感器Luxtron

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話(huà),可以
產(chǎn)品名稱(chēng): 光線(xiàn)溫度傳感器Luxtron
產(chǎn)品型號: Luxtron m920
產(chǎn)品展商: Advanced Energy
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

用于 OEM -100oC 至 330oC 的光纖溫度傳感系統 Advanced Energy 的 Luxtron 四通道 m924 和雙通道 m922 半導體模塊經(jīng)過(guò)精心設計,可對蝕刻器和靜電吸盤(pán)、腔室和其他設備等晶圓制造設備進(jìn)行溫度監測。 混合和匹配組件 可使用當前半導體 Luxtron 品牌 Fluoroptic 探頭和光纖延長(cháng)線(xiàn) 內置校準表可匹配定制 AE 探頭,實(shí)現高精度測量 *大可實(shí)現精度為 ±0.05°C(視探頭而定)


光線(xiàn)溫度傳感器Luxtron  的詳細介紹

完整的 Luxtron® m920 系列 OEM 解決方案采用電子模塊組件制造,配備兩個(gè)主板和探頭。主板包含光纖溫度傳感通道、數字輸出(RS232 ASCII 和 RS485 Modbus)和電源連接。模擬輸出板安裝在主板上方,提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 輸出。還可以選擇金屬外殼。

m920 系列系統采用 Fluoroptic® 技術(shù)。m920 系列主板可對來(lái)自 Fluoroptic 探頭的測量信號進(jìn)行調制,然后將校準的溫度報告給 OEM 控制系統。

優(yōu)點(diǎn)

  • 為不同的蝕刻和晶圓制造過(guò)程實(shí)現高精度和高溫范圍
  • 以快速采樣率監測更快的斜坡條件
  • 使用這種低噪聲解決方案獲得更**的溫度測量結果
  • 充分利用產(chǎn)品的出色可靠性,降低故障率
  • 獲得支持 在全球范圍內支持定制集成和探頭設計
 

特點(diǎn)

  • 雙通道或四通道,借助 RS485 Modbus 可擴展至多達 64 通道
  • 單 PCB 設計,具有模擬輸出和金屬外殼等選項
  • 高電壓、射頻、等離子體和微波等不會(huì )對探頭產(chǎn)生電磁干擾
  • 可向后兼容 Advanced Energy 彈簧加載和 Accudisc 探頭
  • 可為半導體應用提供定制探頭
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